반도체 공정 설비 제품 및 기타 제품소개
반도체 공정 설비 제품은 생산에 투입되는 PR Bottle 혹은 Slurry 정보를 IoT 기술을 이용하여 LINE 내 자재 입고 시점부터 투입시점까지 정보를 실시간으로 관리하여 작업자의 Bottle 투입 오류방지, 교체시간 단축, Line 내 공간 활용 최대화 등을 목적으로 하는 제품.
PR Holder
Chemical Bottle 정보와 노즐의 정보를 실시간으로 확인하여 Bottle 교체시 오투입을 방지하여 생산 손실을 방지하기 위한 장비
- 단단한 구조의 bottle holder와 내장 안테나
- 노즐 안테나를 통한 노즐 tag 인식
- 노즐 안테나 브라켓을 통한 노즐 위치 조정 가능
- Up/down link를 통한 간편한 설치 구조
- 손쉬운 사운드 파일 업데이트
Smart Cart
카트에 PR이 탑재되는 시점부터 PR의 정보를 사전 확인이 가능하며, 실시간으로 PR Bottle 교체 장비 정보를 모바일 단말을 통해 서버로 부터 전달 받아 전달해 교체 시간을 단축할 수 있는 장비
-PR 확인용 13.56Mhz RFID reader 6 channel
-위치 파악용 900MHz BLE 모듈
-10인치 모바일 탭 장착
-무게 센서 장착을 통해 잔량 확인을 통해 원가절감
Stocker
반도체 Photo 공정용 Shelf는 PR공정에서 사용하는 PR용액을 효율적으로 관리하여 LINE내 공간을 최대한 활용하기 위한 보관 장치로 PR용액 특성에 따라 상온용/냉장용/냉동용으로 구분되며 RFID 통신 모듈을 탑재하여 Bottle 입고시점부터 실시간으로 정보를 관리할 수 있는 특화된 제품
RCS (Remote Control System)
RCS 장비는 생산 LINE에서 운용중인 장비의 현 상황을 사무실에서 실시간으로 모니터링 하면서 필요할 경우 장비를 원격으로 제어함으로써 공간적, 시간적 제약을 극복하여 업무를 처리할 수 있는 장비로 KVM, 원격 카메라, 스피커/마이크를 연결할 수 있으며, 장비의 내부 KVM, 원격 카메라 영상을 관리하며, 승인된 사용자의 접근만 허용할 수 있는 보안 기능을 제공함
Vaccum System
일반적으로 반도체산업용과 일반산업용으로 분류되며, 반도체용은 청정실내 청정도 유지 및 반도체 공정 장비에 사용되고, 일반산업용은 석유화학 제품의 유증기 회수등의 용도인 Clean Vaccum 설비제품과 Process Vaccum설비제품임.
진동센서(Vibration sensor)
기계 및 구동하는 설비의 진동을 측정 하여 장비 고장
유무를 예지하여 사전 예측 예방 정비 가능
상시 모니터링에 의한 이상진단으로 안정적인 공정 진행
차압측정 센서
Accuracy better than 0.2% FS near zero Excellent repeatability, even below 10 Pa Calibrated and temperature compensated Excellent long-term stability Flow measurement in bypass configuration Local 3.2 inch & remote tcp/ip display supported.
The SM-S2 sensor family is SUMA’s small sensor series of digital differential pressure sensors. They measure the pressure of air and nonaggressive gases with superb accuracy and no offset drift.
The sensors cover a pressure range of up to ±500 Pa (±2 inch H2O / ±5 mbar)
and deliver outstanding accuracy even at the bottom end of the measuring range.
The SM-S2 series operates from a 12~24 Vdc supply voltage and features a analog 0~5V output. The signal is internally linearized and temperature compensated.
The differential pressure is measured by a thermal sensor element using flow-through technology. Compared with membranebased sensors, the SM-S2 features an extended dynamic range, better long-term stability, and improved repeatability, especially near zero.